“3차원 나노패터닝”으로 총 1건 검색

• 3차원 나노패터닝, 三次元-, 3D Nanopatterning

  양성자를 조사하는 방법으로 나노크기의 구조물을 제작하는 기술. 양성자(proton)를 300eV(전자볼트) 수준의 작은 에너지로 가속한 뒤 이 빔을 코발트 산화물층과 금속 필라듐층이 겹처진 인공 격자에 조사해 산소 원자만 선택적 제거하여 산화물층을 금속층으로 바꿀 수 있다. 공정 과정을 단순화할 수 있어...